【MEMS簡(jiǎn)介】

　　MEMS即微機電系統（Microelectro Mechanical Systems），是利用微納加工技術(shù)將機械零件、電子電路、傳感器、執行機構高度集成的高附加值元件，經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。

　　MEMS技術(shù)構建的產(chǎn)品具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、性能穩定等特點(diǎn)，廣泛應用于汽車(chē)、消費電子、工業(yè)、醫療、國防、航空航天等領(lǐng)域。2022年，全球MEMS行業(yè)市場(chǎng)規模已達到184.77億美元，中國MEMS傳感器市場(chǎng)規模已達到9821億元，同比增長(cháng)15.1%，預計到2025年中國市場(chǎng)規模將達到15713億元，2022-2025年復合增長(cháng)率為17.0%。

　　【平臺建設】

　　服務(wù)中小微企業(yè)的公共技術(shù)平臺，是推動(dòng)科技成果高效轉化的重要支撐。2020年，山東產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究瞄準MEMS產(chǎn)業(yè)這一藍海市場(chǎng)，提出了包括引進(jìn)MEMS技術(shù)、孵化MEMS企業(yè)、建設MEMS生態(tài)等一系列舉措。投資建設濟南市首條具備完整MEMS芯片生產(chǎn)加工能力的產(chǎn)線(xiàn)——微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺（下稱(chēng)“微納平臺”），確定1+6發(fā)展規劃，圍繞“1”個(gè)平臺布局６大業(yè)務(wù)方向：壓力傳感器、環(huán)境傳感器、慣性傳感器、太赫茲傳感器、射頻傳感器與新型襯底材料傳感器，形成高效率代工研發(fā)服務(wù)、4&6英寸MEMS產(chǎn)品穩定批產(chǎn)、產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合集智創(chuàng )新與產(chǎn)業(yè)資源整合推進(jìn)成果轉化的全周期產(chǎn)業(yè)培育創(chuàng )新基地，為山東與全國MEMS產(chǎn)業(yè)提供關(guān)鍵制造能力支撐。

　　微納平臺作為山東產(chǎn)研院在山東省布局的最大公共技術(shù)服務(wù)平臺，由該院全資機構——山東產(chǎn)研微納與智能制造研究院有限公司負責運營(yíng)，部署微系統技術(shù)研究所基于本平臺開(kāi)展研發(fā)和項目合作，集聚了一批來(lái)自中國科學(xué)院、中國航天及半導體一線(xiàn)大廠(chǎng)公司的研發(fā)人員，具備充足的技術(shù)驗證和工藝生產(chǎn)能力，能夠高效地為客戶(hù)提供個(gè)性化產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和小批量驗證、代工服務(wù)。

　　【成果顯著(zhù)】

　　2023年4月，微納平臺首款正式產(chǎn)品下線(xiàn)，標志其正式開(kāi)展對外服務(wù)。截至2023年9月底，平臺已對接并開(kāi)展代工項目驗證30余項，承接小批量流片項目5項，簽約訂單已近百萬(wàn)，形成代工收入數十萬(wàn)，成功為北京基因測序技術(shù)開(kāi)拓企業(yè)、上海光通信技術(shù)企業(yè)、河南氣體傳感技術(shù)企業(yè)、山西3D視覺(jué)技術(shù)企業(yè)、陜西光通訊半導體技術(shù)企業(yè)、山東諧振壓力傳感技術(shù)企業(yè)、山東再生醫學(xué)技術(shù)企業(yè)等多家科創(chuàng )企業(yè)及全國多家科研院所和高校提供聯(lián)合技術(shù)開(kāi)發(fā)、工藝驗證和小批量代工服務(wù)。成功交付光源器件類(lèi)、生物微流控類(lèi)、3D視覺(jué)類(lèi)、壓力傳感類(lèi)、氣體傳感類(lèi)等多品類(lèi)產(chǎn)品，得到客戶(hù)的廣泛認可。

　　經(jīng)過(guò)半年的平穩運行，平臺科研能力穩步增強，工藝技術(shù)團隊已逐步建立起多套高水平制作工藝，形成了C-SOI工藝包、高品質(zhì)硅鍵合工藝包、高精度雙面深刻蝕工藝包等特色產(chǎn)品和生物傳感器、環(huán)境傳感器、壓力傳感器等應用領(lǐng)域的完整技術(shù)儲備，形成多項知識產(chǎn)權。

　　平臺開(kāi)展科研與代工服務(wù)的同時(shí)，不忘落實(shí)產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合集智創(chuàng )新與產(chǎn)業(yè)資源整合工作，啟動(dòng)濟南市重點(diǎn)實(shí)驗室、濟南市高新技術(shù)企業(yè)等資質(zhì)認定工作，與上海計量院、山東省計量院等單位聯(lián)合申報國家重點(diǎn)研發(fā)計劃。全力整合產(chǎn)線(xiàn)、資本與人才資源，深入跟進(jìn)十余項早期創(chuàng )新創(chuàng )業(yè)項目，傾力打造具有獨特生命力與吸引力的新型MEMS產(chǎn)業(yè)合作基地，為山東省招才引智、筑巢引鳳提供強大動(dòng)力！

　　2023年３月和9月，山東產(chǎn)研院、微納與智能制造研究院與微納平臺受邀參展“CHInano 2023第十三屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(huì )”與“中國（上海）國際傳感器技術(shù)與應用展覽會(huì )（SENSOR CHINA）”，重點(diǎn)推介科研與代工服務(wù)能力，展示山東產(chǎn)研院強大的產(chǎn)業(yè)升級和生態(tài)建設能力，與行業(yè)內百余家科研機構和企業(yè)達成友好合作關(guān)系，微納平臺已逐步成長(cháng)為國內MEMS中試平臺創(chuàng )新服務(wù)和技術(shù)發(fā)展新力量！

　　【濟南明星平臺】

　　目前國內MEMS加工制造平臺40余家，其中多為企業(yè)量產(chǎn)線(xiàn)，具有政府背景的MEMS公共服務(wù)平臺更加受到有孵化需求的科研團隊和早期初創(chuàng )企業(yè)的青睞，值得信賴(lài)的政府中試線(xiàn)和科研線(xiàn)更具備新興產(chǎn)業(yè)集聚效益。比如，蘇州納米城建有國內首個(gè)市場(chǎng)化、全開(kāi)放6-8英寸MEMS中試平臺，形成年產(chǎn)5萬(wàn)晶圓的批量生產(chǎn)能力，在當地政府的持續指導和支持下，帶動(dòng)蘇州引進(jìn)孵化企業(yè)近千家，實(shí)現年產(chǎn)值近3000億元。山東產(chǎn)研院微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺設計產(chǎn)能為年產(chǎn)2萬(wàn)晶圓，是濟南市首個(gè)MEMS領(lǐng)域市場(chǎng)化、全開(kāi)放中試平臺，一直受到濟南市、濟南高新區的大力支持。

　　微納制造平臺運營(yíng)總監李景磊表示，“微納制造技術(shù)是未來(lái)世界制造技術(shù)發(fā)展的重要方向，我們將把平臺打造成國內知名、集產(chǎn)學(xué)研于一體的微納研發(fā)、加工及中試基地，構建具有山東特色的集聚先進(jìn)材料、微納制造、系統封測、器件設計等產(chǎn)業(yè)鏈上下游聯(lián)動(dòng)的自主產(chǎn)業(yè)體系。同時(shí)，打造MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈北方科技創(chuàng )新策源地、人才聚集地，積極融入國家和地方發(fā)展戰略，通過(guò)平臺的帶動(dòng)作用，吸引更多企業(yè)、團隊、人才落地山東、落戶(hù)濟南�！�

　　【微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺介紹】

　　微納制造公共技術(shù)服務(wù)平臺位于山東省濟南市歷城區旅游路8661號，山東產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院高科技創(chuàng )新園10號樓B座，總面積5500余平方米，其中凈化車(chē)間近2000平方米，配備近百臺工藝生產(chǎn)設備，生產(chǎn)能力覆蓋MEMS芯片生產(chǎn)的全過(guò)程，從前道的光刻、刻蝕、金屬化，到后道的封裝、測試一應俱全，可以讓客戶(hù)實(shí)現“帶著(zhù)設計進(jìn)來(lái)，帶著(zhù)產(chǎn)品出去”。